高效空氣過濾器作為塵埃粒子進入潔凈工作區(qū)的最后一道防線，其自身性能及安裝質量的優(yōu)劣直接關系到潔凈工作臺能否滿足要求。高效空氣過濾器檢漏測試是保證潔凈工作臺性能的必要措施之一。

高效過濾器掃描檢漏測試方法在很多相關標準中都有專門規(guī)定，具體測試方法如下：測試過程可采用大氣塵或人工多分散氣溶膠作為過濾器上游塵源，當發(fā)生滿足要求的上游塵源后，用激光粒子計數(shù)器或光度計在高效過濾器下游側距過濾器表面20～30mm處，沿整個表面、邊框及其框架接縫處掃描，掃描速率為20～30mm/s，掃描行程略有重疊。針對掃描結果，光度計法要求掃描行程內穿透率不超過0.01%，計數(shù)器法要求粒子數(shù)不超過3粒/L。

直流型潔凈工作臺在凈化氣流和外界空氣的交界處可因氣流的流動、混合產生局部的渦流，形成局部負壓，將外部少量污染氣流引射至操作區(qū)域，有可能發(fā)生污染。為了評估這種引射作用的影響，需對這種引射作用的影響進行驗證。

具體測試方法：在潔凈工作臺操作口邊緣外側所毗連的周圍環(huán)境中，利用大氣塵或多分散氣溶膠作為污染源，用激光粒子計數(shù)器或光度計在操作口邊緣內側巡檢掃描，掃描速度在50mm/s以下。掃描結果光度計法要求穿透率不超過0.01%，計數(shù)器法要求不超過10粒/L(≥0.5µm）。

潔凈工作臺截面平均風速（垂直氣流平均風速、水平氣流平均風速）大小及風速不均勻度對控制操作區(qū)潔凈度、保護操作對象免受污染具有重要作用。合理的風速大小不僅可以保證操作區(qū)的潔凈度，還可保證盡量短的自凈時間以及操作區(qū)抗污染干擾的能力；不均勻的速度場會增加速度的橫向脈動性，促進流線間的摻混或產生渦流，存在造成操作區(qū)樣品交叉污染的風險。

目前《潔凈工作臺》JG/T292—2010中要求截面風速范圍為0.2～0.5m/s。關于風速均勻性評價，不同標準中有不同的評價方法，如美國聯(lián)邦標準FS209B、日本工業(yè)標準《潔凈工作臺》JISB9922—2001中均規(guī)定每個測點應在平均風速的±20%范圍內�！稘崈艄ぷ髋_》JG/T292—2010中采用風速不均勻度（風速的相對標準偏差）的評價方法，要求風速測點整體不均勻度不超過20%。具體的風速及不均勻度測試方法可參照《潔凈工作臺》JG/T292—2010。

對于進風口設置在潔凈工作臺操作人員腿部的情況，為避免操作者腿部產生吹風感，要求進風風速不超過1m/s。