凈化工程
凈化工程是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)與大氣接觸的潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。這種環(huán)境空間的設(shè)計(jì)和施工過程可以稱之為凈化工程。
的原則
動(dòng)蕩的潔凈室
紊流潔凈室的主要特點(diǎn)是改變了氣流與氣流之間的氣流段(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)。潔凈室截面比送風(fēng)口截面要大得多，因此不能在整個(gè)房間截面或在整個(gè)房間工作區(qū)截面內(nèi)形成均勻流動(dòng)。因此，送風(fēng)口后的流線相互之間夾角較大或增大，曲率半徑較小。氣流在室內(nèi)不能單向流動(dòng)，會(huì)相互碰撞，產(chǎn)生回流和漩渦。這就決定了紊流潔凈室的流動(dòng)狀態(tài)為:突流;非均勻流。
這是對(duì)紊流潔凈室比紊流更為準(zhǔn)確全面的描述。湍流主要取決于雷諾數(shù),這主要是受流量影響,但如果部送風(fēng)的形式從個(gè)高效微�？諝膺^濾器,上面所有的結(jié)果將產(chǎn)生即使在非常低的流速,因?yàn)樗莻�(gè)突然流和非均勻流。因此，在這種情況下，不僅有湍流造成的流動(dòng)層之間的混合，也有大回流和渦在整個(gè)腔室中造成的混合。
單向流動(dòng)無塵室
單向潔凈室有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流動(dòng)系統(tǒng)中，空氣從面墻流向另面墻。在垂直流動(dòng)系統(tǒng)中，空氣從天花板流向地面。當(dāng)潔凈室內(nèi)需要較低濃度的懸浮顆�；蛭⑸飼r(shí)，使用單向氣流。這種類型的潔凈室以前被稱為“層流”潔凈室。單向流和層流描述的是空氣的流動(dòng):氣流沿個(gè)方向流動(dòng)(垂直或水平方向)，以平均速度流過空間，通常為0.3米/秒到0.5米/秒(60英尺/分鐘到100英尺/分鐘)�？諝庥蓾崈羰姨旎ò迳系母咝н^濾器送風(fēng)�？諝饬鲃�(dòng)，就像個(gè)空氣活塞，向下流過房間，帶走污染物，然后將它們從地面排出。與外界新鮮空氣混合后，再循環(huán)到HEPA過濾器。懸浮污染的人和過程是立即消除這種空氣，而紊流通風(fēng)系統(tǒng)使用混合和稀釋原則。在個(gè)沒有任何障礙的空房間里，單向流動(dòng)可以在比前面提到的風(fēng)速低得多的情況下迅速清除污染物。但在車間里，機(jī)器和在機(jī)器周圍行走的人可能會(huì)成為空氣流動(dòng)的障礙。障礙物可以使單向流變成湍流，從而在障礙物周圍形成氣團(tuán)。人類活動(dòng)也可以把單向流動(dòng)變成洶涌的流動(dòng)。在這些湍流中，由于風(fēng)速較低，空氣被稀釋得較少，導(dǎo)致污染濃度較高。因此，風(fēng)速必須保持在0.3 m/s ~ 0.5 m/s (60 ft/min ~ 100 ft/min)的范圍內(nèi)，才能使中斷的單向流迅速恢復(fù)，使障礙物周圍湍流區(qū)的污染得到充分稀釋。用風(fēng)速可以正確顯示單向流動(dòng)，因?yàn)轱L(fēng)速越高，房間越干凈。每小時(shí)換氣的次數(shù)與房間的容積有關(guān)，比如天花板的高度，所以不適合用單向流來表示。單向室輸送的空氣體積是湍流室的數(shù)倍(10到100倍)。
